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　　◎记者郑维汉

　　20世纪90年代
，汉钟精机的创始团队秉持“做中国人自己的压缩机 ”的理念，创立“汉钟”压缩机品牌 。公司以空调用螺杆压缩机为起点 ，历经多年深耕积淀
，已成长为国内领先的压缩机制造商，产品全面覆盖制冷压缩机 、空气压缩机
、光伏真空泵、半导体真空泵等市场主流压缩与真空技术场景
。

　　如今 ，算力成为市场的“主流叙事
”
，汉钟精机精准卡位新兴赛道，公司半导体真空泵已进入12英寸晶圆厂多种严苛制程工艺展开验证；压缩机产品深度应用于数据中心冷板式液冷系统 ，在国内市场稳居前列。

　　精准卡位的背后，是企业长期坚持的技术深耕 。“我们非常重视技术研发
，每年的研发投入基本都占营收的5%以上，这在行业内是不多的
。”汉钟精机董事长余昱暄表示 ，“正因如此
，公司的产品迭代速度很快，当对手复制出第一代产品时 ，我们第二代 、第三代产品已经在公司的实验室中蓄势待发。当对手以更低价格抢占市场时
，公司可以推出能效更高
、性能更优的新品，用5%至10%的溢价换取市场的长期信任 。 ”

　　半导体真空泵：

　　筑牢技术壁垒推进设备国产化

　　真空泵是半导体制造中真空系统的核心关键部件 ，是保障芯片生产良率的基础刚需
。

　　“集成电路产业15个主要工艺环节中的11个需要使用真空泵获得中高真空环境
，占比超过70%。 ”余昱暄告诉上海证券报记者，“这是因为在集成电路生产的微观加工工艺中 ，任何细微的尘埃或气体都会造成工艺缺陷
，因此需要高度可靠且稳定的洁净真空环境 。
”

　　当前，集成电路制程不断向先进工艺演进 ，制造的精细度和复杂度显著提升，对洁净真空环境的要求也更加苛刻。制程越先进
，工序就越多，半导体生产设备需求量就越大 ，真空泵的数量需求和技术要求也随之“水涨船高”
。

　　在这一领域
，汉钟精机具备深厚的技术积累与增长潜力。

　　据悉，汉钟精机的半导体专用干式真空泵 ，可广泛适配扩散、刻蚀 、薄膜、离子注入等工艺 。公司已通过多家国内芯片制造商的认可
，进入批量供货阶段，产品应用于半导体新产线扩产项目及其他品牌老旧真空泵的淘汰换新
。此外 ，部分新客户和新工艺也正处于测试验证中
，为公司未来业务增长奠定坚实基础。

　　与此同时，汉钟精机还携手多家半导体设备生产企业 ，推动半导体行业关键设备及零部件的国产化进程 。公司凭借本土化生产与服务能力
，可有效缩短交货周期，缓解下游真空泵安全库存的备货压力 ，显著降低采购成本以及后续真空泵的正常维护保养费用
。

　　谈及公司在半导体真空泵领域的技术护城河，余昱暄直言：“行业门槛很高
，入局者众多，但成功者寥寥。 ”

　　在余昱暄看来 ，负压真空泵与正压压缩机原理看似相近
，但应用场景天差地别 。“绝对不能用正压压缩机的研发
、制造逻辑去做半导体真空泵
。一些压缩机企业曾盲目切入，但终陷入技术无解、验证失败的困境。 ”

　　具体而言 ，半导体扩散 、刻蚀
、薄膜、离子注入等工艺所需的化学气体配方 、工艺配比均属于晶圆厂的核心机密
，不会对外披露参数 。而真空泵需配备专用耐腐蚀涂层来应对各种特殊化学气体的腐蚀，在无法获取气体配方的情况下 ，厂商只能依靠长期的试错与实测进行反向推演与调试适配
。

　　从行业整体来看
，半导体普通制程的导入验证周期为半年至1年，严苛工艺制程验证可长达1至2年 ，甚至更长时间
，新入局企业无法短期复刻。

　　此外，半导体晶圆制造对良率有严苛要求 ，进而对真空泵等核心零部件的可靠性提出极高标准 。一条月产能3万片晶圆的12英寸先进制程产线需配置约2000台真空泵，按照运行标准
，所有真空泵全年几乎不允许发生任何影响正常生产或晶圆报废的故障。制程验证过程中但凡出现一次异常，直接归零 ，需重新验证
，进一步拉长了新工艺制程的导入周期
。

　　数据中心用压缩机：

　　十年磨一剑卡位算力风口

　　数据中心散热压缩机是汉钟精机的另一重点布局领域。“从中长期发展角度看，我们要抓住数据中心领域的机遇 ，抢占风口 。
”余昱暄说
。

　　随着数字化浪潮与全球人工智能算力需求的爆发式增长
，数据中心正迎来前所未有的扩张周期，带动液冷散热需求攀升。与此相对的是 ，作为数据中心液冷温控体系的核心装备
，高端压缩机市场当前供需格局偏紧，供给端存在显著缺口 。

　　拆解系统架构 ，数据中心冷板式液冷系统可分为一次侧系统（室外散热循环）与二次侧系统（室内设备端液冷循环）
。其中
，一次侧系统的核心组件包含水泵/压缩机
、冷却塔/干冷器和冷却水输送管路。放眼全球，数据中心压缩机行业头部优势突出 ，市场份额高度集中，海外绝对龙头供不应求
，产线排期已延伸至2027年 。

　　作为国内数据中心液冷场景的核心设备供应商，汉钟精机已在磁浮离心压缩机领域的国产化进程中占据领先地位 ，市场占有率稳居行业前列
。

　　余昱暄介绍
，公司相关产品包括磁浮离心压缩机和气悬浮离心压缩机，二者均采用先进的无油无机械摩擦设计 ，具备运行噪音低、设备寿命长 、维护成本低等显著优势
，性能已达到国际一流水平，可灵活适配各类数据中心的不同配置需求。

　　“公司大约在十几年前就开始布局磁悬浮等高端无油压缩机技术 ，在研发上拥有先发优势
，尤其是公司的生产制造能力能同时兼顾产能和质量控制 。”余昱暄坦言，“对于后来者而言 ，追赶我们在数据中心领域的进度需要一些时间
。
”

　　伴随海外市场数据中心行业对制冷压缩机的强劲需求
，汉钟精机正不断向更广泛的客户群体提供测试样机及正式交付订单。“今年公司磁浮压缩机在液冷的应用会有相当幅度的增长 。”余昱暄表示。

（文章来源：上海证券报）